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作製された試料の表面を検査する光学顕微鏡には、高い精度と光学性能が求められます。検査結果の画像を保存・再生するには、デジタル写真を撮影して処理する技術が必要です。微小領域の硬さ試験では、自動測長と評価機能によって解析時間が大幅に短縮します。標準のダイヤモンド圧子で試料につけた窪みから、試料の硬さまたは硬さ分布を割り出します。解析の原理は単純ですが、光学的に高い精度が求められます。
評価用ソフトウェア